Le silane, également appelé monosilane ou tétrahydrure de silicium, est utilisé principalement dans la fabrication de semi-conducteurs, d’écrans et de cellules photovoltaïques. Il sert notamment de source de silicium pour les dépôts chimiques en phase vapeur.
À température ambiante, il se présente sous forme d’un gaz incolore, extrêmement inflammable et susceptible de s’enflammer spontanément au contact de l’air.
1Principales propriétés
Ces valeurs concernent le silane pur. Les caractéristiques des mélanges commerciaux dépendent notamment de la concentration en silane et du gaz de dilution.
2Quels sont les dangers ?
Le silane présente un risque majeur d’incendie et d’explosion. Son inflammation peut se produire spontanément au contact de l’air, sans flamme ni étincelle extérieure.
Il réagit violemment avec les oxydants. Sous l’effet de la chaleur, il peut se décomposer en silicium et en hydrogène, ce qui ajoute un risque d’incendie et d’explosion.
La fiche internationale ICSC décrit une irritation possible des yeux, de la peau et des voies respiratoires. L’inhalation peut provoquer une toux, des maux de tête, des nausées et un mal de gorge. Le contact avec le produit liquéfié peut entraîner des gelures.
3Quelles valeurs d’exposition professionnelle ?
L’Encyclopédie des gaz d’Air Liquide rapporte pour la France la valeur suivante :
| Période de référence | ppm | mg/m³ |
|---|---|---|
| Moyenne sur 8 heures | 5 | 7 |
| Court terme | Non renseignée dans cette source | Non renseignée dans cette source |
Le statut juridique et le texte français d’origine de cette valeur n’ont pas été confirmés dans une source réglementaire primaire consultée pour cette fiche. Elle ne doit donc pas être présentée ici comme une VLEP réglementaire française vérifiée. La fiche ICSC mentionne également une TLV-TWA de 5 ppm, référence distincte.
Ces valeurs ne constituent pas, à elles seules, des réglages d’alarme.
4Comment prévenir les risques ?
La prévention repose sur des installations closes, une ventilation adaptée et des équipements conçus pour le risque d’atmosphère explosive. La maîtrise des fuites est essentielle compte tenu du caractère spontanément inflammable du gaz.
Les matériaux et accessoires doivent être validés pour les conditions réelles d’utilisation. Les données générales de compatibilité ne remplacent pas cette vérification.
En cas de fuite, évacuer la zone et faire intervenir du personnel spécialisé. Les interventions en atmosphère dangereuse nécessitent une protection adaptée, notamment un appareil respiratoire autonome.
Sources : INRS, base CarAtex, « Tétrahydrure de silicium », avril 2018 ; OIT/OMS, fiche internationale de sécurité chimique n° 0564, « Silane », juillet 1997, en anglais ; Air Liquide, Encyclopédie des gaz, « Silane ».